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XF3807T是SOS硅-蓝宝石高温差压传感器,其工艺:
1.利用硅薄膜的晶体结构和蓝宝石相类似的特点,在蓝宝石基片表面外延生长一层硅单晶薄膜;
2. 通过固态微电子技术,对硅薄膜层进行光刻,形成惠斯登电桥的4个桥臂;
3.蓝宝石膜片是优秀的弹性元件,和钛结合一起,能够获得-55°C~400℃范围内良好的弹性应变特性;
4. 蓝宝石基底是绝缘性极好材料,在-55°C-520°C范围,不随温度升高而变化,为高温传感器提供优越的电气绝缘;
5.根据单晶硅压阻效应原理,连接的单晶硅应变计,实现力与电信号的转换,制作出XF3807T工作在-55℃~350℃的硅-蓝宝石压力/差压传感器。
同扩散硅压力传感器相比较由于蓝宝石(AL2O3)基底本身不存在PN结,没有结效应,因此,SOS蓝宝石传感器具有很好高温电绝缘性能。
同箔电阻应变传感器相比较XF3807T压力敏感元件是一个生长在双层蓝宝石-钛薄膜上的单晶硅电阻应变计,因此,在高温下XF3807T蓝宝石传感器具有很好应变特性和很好重复性。
又因为单晶硅电阻应变计是通过异质外延方法和蓝宝石膜片连接,所以XF3807T高温传感器几乎没有滞后和衰减影响,没有中间传导介质硅油。
又因为单晶硅电阻应变元件是通过固态微电子方法集成在一起,所以XF3807T高温传感器精度高,稳定性好。
再次,蓝宝石具有化学惰性,卓越的光学和抗辐射特性(如γ射线等),所以XF3807T高温传感器可以使用在强辐射环境,如原子能电站、航空航天等场合。
XF3807T硅-蓝宝石压力/差压传感器的精湛之处:在蓝宝石基片上外延掺硅半导体电阻应变计。
.测量生产流程中高温液体、气体和水蒸汽等差压值变化。
.量程:0 ~ 10KPa ……40 MPa
.供电方式:18-36VDC、标准24VDC
.输出方式:4-20mA 、0-5V、1-5V
.0-5V输出具有精度补偿功能。
.连接方式:阳螺纹固定,金属挤压式密封。
.适用温度:最高300℃,自然冷却法。
.耐磨损、抗冲击、抗辐射、耐腐蚀、安装方便。
.单端耐压值 =(3~10)倍工作差压值。
.芯体为全钛合金本体,10KHz的频响。
.卓越的光学和抗辐射特性(如γ射线等)。
.进口俄罗斯蓝宝石,体积小,简洁、长期稳定性好。